激光光刻

jī guāng guāng kè 
基本释义
[ jī guāng guāng kè ]
  1. 利用光学-化学反应原理等方法，将电路图形刻印在介质表面，达到想要的图形刻意功能的新型微细加工技术。
英文翻译
  1. laser photolithography
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