干腐蚀

gàn fǔ shí 
基本释义
[ gàn fǔ shí ]
  1. 在没有水（包括但不限于液体水，水溶液或水蒸气）接触的情况下，引起的腐蚀或者氧化现象。
英文翻译
  1. Dry etching
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